钛泵的性能及除气机理

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行业动态 · 发布日期:2011年12月22日 · 作者:中成泵业

钛泵的性能
(1)?极限压强:10-8帕
(2)?抽速:
钛泵的抽速与阳极电压和磁场强度有关,磁场强时抽速也大,对应最佳抽速的阳极电压也高。常用钛泵的抽速有25升/秒、5升/秒。对于需要大抽速的场合,可用基本结构单元并联的方式使抽速达到50升/秒、100升/秒等。
(3)?启动压强:10-2帕管道泵
(4)?寿命:
a、阴极耗尽寿命
阴极钛板因溅射穿通而使泵无法使用。
b、阳极剥落寿命
阳极内沉积钛膜的厚度太大时会产生剥落,导致泵内压强的不规则强烈变化,使泵无法使用。
c、阳极吸饱寿命??磁力泵
阳极上吸附和溶解了大量的氦气、氢气,当达到饱和状态时泵不能再吸附气体。
在正常使用情况下,溅射离子泵的寿命可达几万小时。
除气机理
(1)?对活性气体的抽除排污泵
对N2、O2、CO和CO2等气体的排除主要靠淀积于阳极筒内壁上的钛膜的化学吸附。
(2)?对氢气的抽除
对氢气的抽除有化学吸附,也有扩散、吸收、溶解作用。
(3)?对惰性气体的抽除?化工泵
对惰性气体的排除,主要靠离子“掩埋”,被电离的惰性气体的离子轰击阴极时,有以下三种情况:
a、离子直接打入阴极内,或打入阴极边缘对面的阳极板上的钛淀积层内;
b、斜射的离子切入阴极表面,离子和钛一起被掀掉而沉积在阴极板的周围或其它地方;?螺杆泵
c、离子没有打入板内,但是从阴极得到电子而复合为中性原子,然后又反射到阳极内表面的钛膜中。
钛泵电源
钛泵的电源是高内阻电源,其空载输出电压在3~7KV间,但负载电流大时,输出电压降至400V左右。一般溅射离子泵使用5KV倍压整流电源。可以用流过钛泵阴阳极的放电电流反映所抽空间的真空度。溅射离子泵在额定电压与磁场强度下的放电电流Iion(mA)与压强P(Torr)有一定的曲线关系。所以通过离子泵电源可反映出压强的大小。?隔膜泵
泵电源的面板上显示有:输出直流高压和钛泵放电电流等。


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